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東吳證券:SiC東風(fēng)已來 關(guān)注襯底與外延環(huán)節(jié)的材料+設(shè)備國產(chǎn)化機遇


【資料圖】

iC襯底:材料端良率提升是關(guān)鍵,設(shè)備端生長、切片、研磨拋光各環(huán)節(jié)國產(chǎn)化率逐步提升

(1)襯底:隨著下游持續(xù)擴產(chǎn),我們預(yù)計全球/國內(nèi)6寸碳化硅襯底片新增市場空間約380/156億元,海外龍頭起步較早,根據(jù)Yole,2020年海外廠商Wolfspeed等CR3達78%,國內(nèi)龍頭天科合達、天岳先進分別僅為3%,國內(nèi)SiC襯底良率較低約50%,而海外龍頭良率已達85%左右。

(2)長晶:物理氣相傳輸(PVT)最成熟,難點在于溫度控制、雜質(zhì)控制、生長速度緩慢等,隨著國內(nèi)SiC襯底加速擴產(chǎn),我們預(yù)計2025年全球/國內(nèi)6寸碳化硅單晶爐新增市場空間約100/40億元,國內(nèi)廠商已經(jīng)較好的實現(xiàn)了碳化硅單晶爐的國產(chǎn)化,其中北方華創(chuàng)(002371)市占率超50%,晶升股份市占率約 28%,晶盛機電(300316)設(shè)備自產(chǎn)自用。

(3)切片:金剛線切割效率高、污染少,正逐漸代替砂漿切割,激光切片損耗少、效率高,有望替代金剛線成為新一代主流切割技術(shù),我們預(yù)計到2025年全球/國內(nèi)6寸碳化硅切片設(shè)備新增市場空間約30/13億元,金剛線切割方面高測股份已推出分別兼容4-8英寸的SiC金剛線切片機并持續(xù)推進國產(chǎn)替代,激光切割方面大族激光(002008)和德龍激光市場份額各占約50%。

(4)研磨拋光:我們預(yù)計2025年全球/國內(nèi)6寸碳化硅磨拋設(shè)備的市場空間約56/23億元,DISCO為龍頭,國內(nèi)邁為股份(300751)對標DISCO ,推動設(shè)備國產(chǎn)化。

3 SiC外延:國外設(shè)備商主導(dǎo),未來2-3年有望快速實現(xiàn)國產(chǎn)替代

SiC外延需嚴格控制缺陷,工藝難度大,我們預(yù)計2025年全球/國內(nèi)6寸碳化硅外延爐新增市場空間約130/53億元,目前以意大利LPE(水平氣流)、德國愛思強(垂直氣流)、日本的Nuflare(垂直氣流)為主,其MOCVD設(shè)備的核心差異是對氣體流量的控制,國內(nèi)晶盛機電、北方華創(chuàng)、芯三代、中電48所和深圳納設(shè)智能等均在積極推進國產(chǎn)替代。此外在外延完成后,SiC仍需要激光劃片進行晶圓的切割,我們預(yù)計2025年全球/國內(nèi)6寸碳化硅激光切割設(shè)備新增市場空間約5/2億元,國內(nèi)德龍激光、大族激光市占率各50%。

風(fēng)險提示:新能源車銷量不及預(yù)期的風(fēng)險、碳化硅滲透率提升不及預(yù)期的風(fēng)險、SiC設(shè)備國產(chǎn)化率提升不及預(yù)期、各家廠商技術(shù)研發(fā)不及預(yù)期。

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