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掃描電子顯微鏡原理

導(dǎo)讀:本文主要介紹掃描電子顯微鏡原理,想知道掃描電子顯微鏡是如何工作的童鞋們快來(lái)看一下吧。

1.掃描電子顯微鏡原理--簡(jiǎn)介

掃描電子顯微鏡,英文名稱(chēng)為SEM,是scanningelectronmicroscope的簡(jiǎn)寫(xiě)。掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài),即用極狹窄的電子束去掃描樣品,通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

2.掃描電子顯微鏡原理--結(jié)構(gòu)

掃描電子顯微鏡由三大部分組成:真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)----主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。

電子束系統(tǒng)----電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成,主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。電子槍用于產(chǎn)生電子,主要有利用場(chǎng)致發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子和利用熱發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子兩種。

成像系統(tǒng)----電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后,打到樣品上與樣品相互作用,會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。

3.掃描電子顯微鏡原理

掃描電鏡的工作原理主要是利用二次電子成像,它工作原理是這樣的:從電子槍燈絲發(fā)出的直徑約20~35μm的電子束,受到陽(yáng)極1~40kV高壓的加速射向鏡筒,并受到第一、二聚光鏡和物鏡的匯聚作用,縮小成直徑約幾十埃的狹窄電子束射到樣品上。

與此同時(shí),偏轉(zhuǎn)線圈使電子束在樣品上作光柵狀的掃描。電子束與樣品相互作用將產(chǎn)生多種信號(hào),其中最重要的是二次電子。由于控制鏡筒入射電子束的掃描線圈的電路同時(shí)也控制顯像管的電子束在屏上的掃描。用這種方法就如電視機(jī)屏上的像一樣,一點(diǎn)一點(diǎn),一線一線地組成了像。

圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級(jí)電子,標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。

拓展閱讀:

1.掃描電子顯微鏡的特點(diǎn)及工作原理

2.掃描電子顯微鏡圖像系統(tǒng)改造方法

3.掃描電子顯微鏡原理和應(yīng)用

關(guān)鍵詞: 電子顯微鏡 掃描電子顯微鏡原理

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