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2023年光刻技術(shù)前沿「17」:MIT朱佳迪開發(fā)了“0.3納米”芯片嗎?

2023年4月,麻省理工學(xué)院(MIT)的博士生朱佳迪的一篇論文被熱議,很多網(wǎng)友稱其“發(fā)明了0.3納米芯片”,是一項顛覆性的成就。那么實際的情況如何呢?

我在前一篇文章里,講到了“0.2納米芯片構(gòu)架”,我們來和朱佳迪同學(xué)的論文進行一個比較,就可窺一斑了。

首先,我們需要明確一個概念,“0.2納米芯片”的本質(zhì)是什么。


(資料圖片僅供參考)

下圖是以“2D半導(dǎo)體”為溝道材料構(gòu)建的堆疊CFET結(jié)構(gòu)“0.2納米芯片結(jié)構(gòu)”,我們說的“0.2納米芯片結(jié)構(gòu)”,是指它可以支持“0.2納米邏輯節(jié)點”的摩爾定律縮放。

在上圖的0.2納米芯片構(gòu)架中,PMOS和NMOS晶體管的2D半導(dǎo)體溝道分別用紅色線和紫色線標(biāo)注,它們有基本的物理參數(shù):厚度大概0.7納米,長度(Lg)小于10納米。

這里需要說明的是,我們并不是以2D半導(dǎo)體的厚度來命名芯片節(jié)點,而是以2D半導(dǎo)體帶來的溝道長度(Lg)的縮小帶來的縮放尺寸來命名芯片節(jié)點。因此,我們可以從下圖看到:

在0.2納米芯片構(gòu)架,采用2D半導(dǎo)體(右側(cè))取代硅(左側(cè))作為溝道材料,可以支持更窄的溝道長度Lg,從而繼續(xù)延續(xù)摩爾定律。

下圖是IMEC的邏輯芯片節(jié)點演繹圖,目前規(guī)劃到2036年的0.2納米(圖中顯示的A2)邏輯節(jié)點的構(gòu)架。而一旦到2036年,2D半導(dǎo)體成功取代CFET架構(gòu)中的硅,A2節(jié)點之后會繼續(xù)圍繞2D半導(dǎo)體的溝道長度縮短進行縮放。

我們大概了解“0.2納米芯片”的基本概念,那么MIT朱佳迪的工作到底是什么內(nèi)容呢?

首先,我們看到文章標(biāo)題明確的標(biāo)明研究核心是單層硫化鉬的低溫合成,很顯然它是一個材料合成技術(shù)的創(chuàng)新,它的主要內(nèi)容是證明新的低溫合成技術(shù)可以在8寸晶圓尺寸有效工作,并且展示出與硅芯片低溫后端集成的可行性。因此,很顯然,這項工作并非制造了“0.3納米芯片”。

第二,既然是材料合成技術(shù)的創(chuàng)新,它可以產(chǎn)生創(chuàng)新的專利技術(shù),比如朱佳迪的工作設(shè)計了MOCVD反應(yīng)器的結(jié)構(gòu),可以成為半導(dǎo)體設(shè)備商的核心技術(shù)。

第三,朱佳迪同學(xué)的論文為了證明低溫合成2D半導(dǎo)體的優(yōu)勢,所以在傳統(tǒng)的硅芯片上進行了后端集成,其重點是證明該工藝的低溫條件,即可以保證2D半導(dǎo)體晶體管正常工作,也可以保證集成的硅芯片不被高溫?fù)p壞。

因此,朱佳迪同學(xué)的論文實際上并沒有觸及“0.2納米芯片”的核心縮放問題,更談不上“發(fā)明了0.3納米芯片”

當(dāng)然,朱佳迪的材料合成技術(shù)的工作非常優(yōu)秀,MIT官網(wǎng)也對朱佳迪的工作進行了長篇報道,大家可以看到,這篇報道的標(biāo)題是:《麻省理工學(xué)院的工程師在計算機芯片上“生長”原子薄晶體管》,很顯然概況了這項工作的主要突破。

南加州大學(xué)電氣和計算機工程以及化學(xué)工程和材料科學(xué)副教授Han Wang對這項工作的評價是:“這項工作在單層二硫化鉬材料的合成技術(shù)中取得了重要進展:8英寸晶圓規(guī)模的低溫生長使2D半導(dǎo)體材料與硅CMOS技術(shù)的后端集成成為可能,并為其未來的電子應(yīng)用鋪平了道路。”

很多網(wǎng)友片面的把所謂單層原子厚“0.3納米”,誤以為是“0.3納米芯片”,從而扭曲了對麻省理工學(xué)院這項重要工作的科學(xué)價值的認(rèn)識。經(jīng)過上述討論,大家對朱佳迪同學(xué)的工作有更清楚的了解了嗎?我們下次聊!

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